技術(shù)編號：3429355
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及無水氯化鎂在硅烷提純上的應(yīng)用。技術(shù)背景硅烷，又稱為甲硅烷，分子式為SiH4，它是硅和氫組成的類似甲垸的化合 物。1857年德國化學(xué)家H. Buff首先發(fā)現(xiàn)了硅烷，但在以后的一百年左右的時間 里，硅烷只是少數(shù)研究者在實驗室里研究的對象，沒有任何用途。上個世紀(jì)， 隨著半導(dǎo)體科技的崛起，硅烷開始在電子工業(yè)中得到越來越廣泛的應(yīng)用。目前， 每年數(shù)以萬噸計的硅垸氣體在工廠里被分解為多晶硅，數(shù)以百噸計的硅烷氣體 直接應(yīng)用于制造各種各樣的新材料和新器件。同時，硅...
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