技術(shù)編號：3435556
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及將四氯化硅轉(zhuǎn)換為三氯硅烷的三氯硅烷制造裝置。本發(fā)明基于2006年10月31日在日本提出申請的特愿2006-297035 號以及2007年10月3日在日本提出申請的特愿2007-259446號主張優(yōu) 先權(quán)，這里援用其內(nèi)容。背景技術(shù)作為用來制造高純度硅(si硅)的原料使用的三氯硅烷(snaci3)可以通過使四氯化硅(SiCl4四氯化硅)與氫反應(yīng)轉(zhuǎn)換來制造。即，硅通過基于以下的反應(yīng)式(1) (2)的三氯硅烷的還原反應(yīng) 和熱分解反應(yīng)生成，三氯硅烷通過基于...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。