技術(shù)編號：3436116
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種化工產(chǎn)品的合成方法，特別是一種高效節(jié)能合成多晶硅原料三氯氫硅的 方法。背景技術(shù)三氯氫硅(HSiCl3)是多晶硅主要原材料，目前隨著國內(nèi)外多晶硅市場需求的高速增長， 國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模迅速擴大，國內(nèi)對三氯氫硅的需求增長迅速。但目前國內(nèi)的工藝僅限于 小規(guī)模生產(chǎn)， 一般單套規(guī)模為2 3千噸級，合成爐直徑在800mm以內(nèi)，傳熱效率不高，三 氯氫硅收率低于82%，四氯化硅等高沸物收率高，尾氣水洗方式排空，造成資源浪費。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明需要解決的技術(shù)問題是...
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