技術(shù)編號：3447007
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種強電介質(zhì)電容器及其制造方法、強電介質(zhì)存儲器及壓電元件。背景技術(shù) 強電介質(zhì)存儲器(FeRAM)，通過利用強電介質(zhì)膜的強電介質(zhì)電容器的自發(fā)極化，保持數(shù)據(jù)。在強電介質(zhì)存儲器中，強電介質(zhì)電容器中所含的強電介質(zhì)膜的結(jié)晶狀態(tài)是決定器件特性的主要因素之一。此外，在強電介質(zhì)存儲器的制造工序中，具有形成層間絕緣膜或保護膜的工序，采用大量產(chǎn)生氫的工藝。此時，強電介質(zhì)膜，由于主要由氧化物形成，所以，氧化物被制造過程中產(chǎn)生的氫還原，對強電介質(zhì)電容器的特性有不希望的影...
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