技術(shù)編號:3455964
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種從單、多晶硅切割加工硅晶片產(chǎn)生的廢砂漿中提取聚乙二醇切割液和高純碳化硅顆粒的工藝方法。背景技術(shù)目前,單、多晶硅切割加工硅晶片產(chǎn)生的廢砂漿也進(jìn)行回收處理,但主要是回收聚乙二醇和碳化硅粉,回收碳化硅粉時(shí),需進(jìn)行酸堿洗處理環(huán)節(jié),大大增大了水等輔材的消發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種可以減少水等輔材的消耗、回收效率高的硅片切割廢砂漿中回收聚乙二醇和碳化硅顆粒的方法。按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述硅片切割廢砂漿中回收聚乙二醇和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。