技術(shù)編號:3465833
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于石英坩堝制造領(lǐng)域,具體涉及一種用于多晶硅鑄錠的免噴涂熔融石英坩堝的制造方法。背景技術(shù)太陽能多晶硅的迅猛發(fā)展,大大加快了多晶硅熔融鑄錠所使用的熔融石英坩堝的研究發(fā)展。行業(yè)內(nèi)由于坩堝成品率的問題,目前所生產(chǎn)的石英坩堝大多是未噴涂的,使用者在用這種坩堝時必須自備噴涂設(shè)備,在成品坩堝內(nèi)部噴上一層氮化硅涂層,然后在1000°c 以上燒結(jié)M個小時以上才能開始裝入純硅料進行使用。市場上也有少量免噴涂石英坩堝, 但這只是在坩堝生產(chǎn)后繼續(xù)噴涂并燒結(jié),工藝并沒有改變...
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