技術編號：3472247
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種復合式化學氣相沉積碳化硅裝置，該裝置由用于進行化學氣相沉積的主反應爐11以及用于消除多余三氯甲基硅烷的輔反應爐12，主反應爐11可為一臺，兩臺或三臺，每臺主反應爐11均與輔反應爐12之間由管道13單獨連通，輔反應爐12與真空系統(tǒng)16直接連通，輔反應爐內(nèi)填充多孔碳氈15，沉積時主反應爐11與輔反應爐12氣壓均在100Pa以下。該裝置能使得爐體與管道中殘余的三氯甲基硅烷含量很低；真空泵油中粉塵顆粒含量減少，延長了真空泵油使用時間，節(jié)約成本；同時，...
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