技術(shù)編號(hào)：3504672
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及新型的芳香族锍鹽化合物，詳細(xì)而言，涉及芳香族锍鹽化合物、使用了該化合物的光致產(chǎn)酸劑(Photo-acid generator)及陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑、以及含有它們的抗蝕劑組合物及陽(yáng)離子聚合性組合物。背景技術(shù)锍鹽化合物是通過受到光等能量線照射而產(chǎn)生酸的物質(zhì)，被用于在半導(dǎo)體等電子電路的形成中使用的光刻法用抗蝕劑組合物中的光致產(chǎn)酸劑、和立體光刻用樹脂組合物 (stereolithographic resin composition)、涂料、涂敷劑、粘接劑等...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。