技術(shù)編號(hào)：3694013
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在例如用有機(jī)金屬材料的氣化氣體作原料的真空成膜 裝置中，通過(guò)用合成樹(shù)脂被膜覆蓋其所附帶的配管或閥門(mén)、氣化器等 真空部件內(nèi)部，防止有機(jī)金屬材料附著的真空部件的制造方法、樹(shù)脂 被膜形成裝置及真空成膜系統(tǒng)。背景技術(shù)MOCVD(金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積)法，是通過(guò)富于反應(yīng)性的有機(jī)金 屬氣體的熱解或與其他氣體的直接反應(yīng)，在基板上使薄膜成長(zhǎng)的真空 成膜技術(shù)，期待著其在金屬布線層的形成等電子設(shè)備領(lǐng)域中的應(yīng)用。圖5是現(xiàn)有的M0CVD裝置中的原料氣體供給系統(tǒng)的簡(jiǎn)要構(gòu)成...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。