技術(shù)編號：39608111
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體，尤其涉及一種硅片的清洗回收方法。背景技術(shù)、硅片是從高純度硅晶體生長出來的薄片，通常呈圓形，作為半導(dǎo)體材料的基礎(chǔ)，是制造各種電子元件(如晶體管、集成電路)的基板。硅片是晶圓的原材料狀態(tài)，是進行后續(xù)半導(dǎo)體制造前的基本形態(tài)。、硅片是芯片的主要基板，其以高純度的多晶硅或單晶硅棒作為原料，經(jīng)過拉晶、切割、研磨與拋光、清洗等步驟制成，生產(chǎn)成本高，通常對于光刻膠研發(fā)類企業(yè)來說，這些廢棄處理的硅片也導(dǎo)致了半導(dǎo)體研發(fā)或制造成本的極大提高以及資源浪費。、此外，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，越來越...
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