技術(shù)編號(hào)：39609776
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)屬于微機(jī)電系統(tǒng)，具體涉及一種集成化mems慣性傳感器。背景技術(shù)、mems慣性傳感器分為mems加速度計(jì)和mems陀螺儀慣性器件，mems加速度計(jì)傳感器用來(lái)測(cè)量空間加速度的傳感器，即測(cè)量物體在空間速度變化的快慢。mems陀螺儀利用角動(dòng)量守恒定律，通過測(cè)量物體在單軸、雙軸或多軸上的旋轉(zhuǎn)速度變化來(lái)確定其方向和角度。、目前高性能單軸mems慣性器件為減小應(yīng)力的影響，均采用mems表頭與asic電路層疊式封裝，asic電路在工作過程中會(huì)自熱，導(dǎo)致封裝腔內(nèi)溫度增加，導(dǎo)致mems慣性器件的性能下降。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。