技術編號：39693830
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及半導體領域，具體涉及一種結構片的固定裝置。背景技術、現(xiàn)有離子束刻蝕機臺使用卡爪式固定環(huán)固定方式，工藝過程當中，為了使結構片與加工平臺充分均勻接觸，使用卡爪式固定，卡爪材料為不銹鋼合金，該機臺工藝是使用離子束刻蝕原理，故而當工藝使用時間增加和離子束能量體的累積，固定環(huán)的卡爪會被離子束轟擊，導致卡爪變薄變形，導致存在碎片風險。、因此，有必要提供一種新的技術方案。技術實現(xiàn)思路、為解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題，本實用新型公開了一種結構片的固定裝置，具體技術方案如下所述：、本實用新型提供...
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