技術(shù)編號：40239178
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及晶圓酸洗，具體為一種晶圓玻璃載片坯料酸洗液及其制備方法和設(shè)備。背景技術(shù)、晶圓玻璃載片坯料，通常簡稱為晶圓，是半導(dǎo)體制造中用于支撐電路圖案的基底材料。這種材料通常由高純度的硅或其他半導(dǎo)體材料制成，并經(jīng)過精密加工以保持極高的平整度和光潔度。酸洗在半導(dǎo)體制造中起著至關(guān)重要的作用，在晶圓玻璃載片坯料的制備、運輸和存儲過程中，表面可能會沾染各種污染物，如塵埃、油脂、金屬離子等。這些污染物如果不被及時去除，將嚴(yán)重影響后續(xù)半導(dǎo)體制造過程的良品率和產(chǎn)品質(zhì)量。酸洗能夠利用酸液的強腐蝕性，有效去除晶圓玻...
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