技術(shù)編號：40371161
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種掩膜結(jié)構(gòu)，更確切地說，是一種檢查曝光圖案套合的掩膜結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體工藝制作過程中，曝光機(jī)臺通過uv光照射到鉻板/掩膜板上面，把鉻板/掩膜板圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠，從而獲得圖案。在生產(chǎn)tp(即，觸摸屏)和模組需要經(jīng)過若干到曝光，才能堆疊出所需要的圖案。、在曝光時第一道產(chǎn)生對位標(biāo)，給第二道用于抓標(biāo)進(jìn)行圖案的套合，同時第二道產(chǎn)生對位標(biāo)給第三道用于抓標(biāo)進(jìn)行圖案的套合，依此類推下去來保證圖案的設(shè)計堆疊。、由于存在多道工序，曝光時會存在對位精度偏差，需要人工去顯微鏡下確認(rèn)，對每道圖案進(jìn)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。