技術(shù)編號(hào):40372377
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及有機(jī)化合物合成,特別是涉及一種雙苯磺酸甲烷的合成方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體光刻膠由樹(shù)脂、光敏材料、溶劑和其他化學(xué)添加劑組成。其中,光敏材料是光刻膠成分中真正“對(duì)光敏感”的化合物,是光刻膠的重要組成成分。半導(dǎo)體光刻膠用光敏材料主要分為pag(光致產(chǎn)酸劑,簡(jiǎn)稱(chēng)光酸,photo-acid?generator)和pac(感光化合物,photo-active?compound)。、光致產(chǎn)酸劑是一類(lèi)在光、射線和等離子體等輻射下能分解生成特定酸的化合物。酸可使酸敏樹(shù)脂發(fā)生分解或者交聯(lián),從而使光照部分...
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