技術(shù)編號(hào)：40374280
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本申請(qǐng)涉及晶圓清洗設(shè)備的領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓干燥機(jī)及其晶圓支架總成和提升機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)、馬蘭戈尼干燥機(jī)是一種用于晶圓清洗和干燥的晶圓清洗設(shè)備，其利用的馬蘭戈尼效應(yīng)是指由于液體表面張力差異而引起的流動(dòng)現(xiàn)象，通過這一效應(yīng)，可以有效地將晶圓表面的水分或溶劑移除，從而實(shí)現(xiàn)無水痕、無污染的干燥效果。、在現(xiàn)有技術(shù)中，晶圓支架通常通過y型槽等結(jié)構(gòu)夾持晶圓，但這種設(shè)計(jì)導(dǎo)致晶圓與支架之間的接觸面積較大，由于夾持面積大，晶圓在與支架接觸的部分無法充分暴露于清洗液和干燥氣流中，導(dǎo)致這些區(qū)域無法有效清洗和干燥。這...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。