技術(shù)編號(hào)：40375239
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片制作，尤其是涉及一種微波激勵(lì)汞燈產(chǎn)生uv光的光刻膠固化裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體器件是電力電子應(yīng)用產(chǎn)品的基礎(chǔ)，也是構(gòu)成電力電子變化裝置的核心器件，主要用于電力電子設(shè)備的整流、穩(wěn)壓、開關(guān)、混頻等，具有應(yīng)用范圍廣，用量大等特點(diǎn)。、在晶圓加工工序中，光刻膠固化是一個(gè)關(guān)鍵步驟，它確保了光刻膠在后續(xù)的刻蝕或離子注入過(guò)程中能夠穩(wěn)定地充當(dāng)保護(hù)層，整個(gè)光刻膠固化過(guò)程需要精確控制，以確保光刻膠的質(zhì)量和最終集成電路的性能。高溫交聯(lián)光刻膠的固化技術(shù)是一種保護(hù)光刻膠圖形的方法，通過(guò)顯影后烘焙來(lái)固化光...
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