技術(shù)編號:40375645
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及微驅(qū)動機構(gòu),具體是指一種層構(gòu)式手動微納位移平臺。背景技術(shù)、微納定位可以實現(xiàn)微米級或者納米級別的定位。二十一世紀(jì)以來,隨著科技越來越發(fā)達(dá),微納定位系統(tǒng)的應(yīng)用也越來越廣泛,在航空航天、機械電子、醫(yī)療衛(wèi)生領(lǐng)域以及日常生活中都有所體現(xiàn)。隨著生物工程、空間光學(xué)、微電子制造、超精密加工、納米技術(shù)等領(lǐng)域的發(fā)展,要求定位系統(tǒng)具有大行程高靈敏度微位移輸出;、現(xiàn)有納米定位平臺普遍采用陶瓷驅(qū)動器驅(qū)動實現(xiàn)水平微動輸出,輸出能夠達(dá)到納米級,滿足高靈敏度需求,但因為結(jié)構(gòu)原理限制,其存在行程有限的問題;且這類定...
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