技術編號：40388656
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及涂布，尤其涉及一種用于硅片涂布的涂布機。背景技術、平板涂布機即是基板被大理石平臺真空吸附固定，龍門帶動狹縫涂布頭相對于基板作精密運動，在運動過程中，注射泵擠壓溶液后，溶液從精密模頭之間的狹縫沉積于基板之上，從而形成一定預設厚度的薄膜，涂膜厚度可由液體流量與基板移動速度精確計算，其優(yōu)點為涂膜均勻性高、可適用的溶液粘度范圍廣、涂布速度快、可進行大面積涂膜。、目前涂布機存在一個新的使用領域，即硅片涂布。、硅片涂布存在的問題：硅片的尺寸較小而且非常薄一般在-um厚度左右，而且...
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