技術(shù)編號：40390415
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體或光伏材料加工領(lǐng)域，具體涉及一種舟結(jié)構(gòu)以及反應(yīng)爐。背景技術(shù)、在對半導(dǎo)體或光伏材料進(jìn)行加工時，通常是將片狀材料(如硅片)送入反應(yīng)爐中進(jìn)行加工，反應(yīng)爐可以提供一定的溫度和壓力并通入工藝氣體，以對片狀材料進(jìn)行加工。在裝載或移動待加工的、加工中的或者加工后的片狀材料時通常使用舟結(jié)構(gòu)。、相關(guān)技術(shù)中，舟結(jié)構(gòu)中包括多個槽棒，每個槽棒具有多個槽齒，通過槽齒可以承托片狀材料的邊緣部位，但由于片狀材料的自身重力，很容易導(dǎo)致片狀材料的中心區(qū)域下垂凹陷，甚至隱裂。技術(shù)實現(xiàn)思路、為了解決上述技術(shù)問題...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。