技術(shù)編號：40390520
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及微機(jī)電系統(tǒng)，具體涉及一種mems諧振器。背景技術(shù)、mems諧振器是指基于微機(jī)電系統(tǒng)(mems)技術(shù)制造的諧振器。諧振器是一種能夠在特定頻率下產(chǎn)生共振的裝置，常用于振蕩器、濾波器、時(shí)鐘發(fā)生器等電子設(shè)備中。mems諧振器利用微納米級尺寸的機(jī)械結(jié)構(gòu)和電子控制電路相結(jié)合，具有體積小、功耗低、頻率穩(wěn)定性高等優(yōu)點(diǎn)。、在mems諧振器的加工工藝中，通常通過深反應(yīng)離子刻蝕(英文名稱deep?reactiveion?etching，簡稱drie)工藝將不需要的材料去除，以形成mems諧振器諧振組件和...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路，無完整電路圖，適合研究學(xué)習(xí)。