技術編號：40390664
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請涉及半導體，尤其涉及一種懸臂梁型耦合器的制備方法、光子芯片及光計算設備。背景技術、目前，光子芯片上的波導的模斑尺寸與外部光學元件(例如光纖)的模斑尺寸之間相差較大。一般地，波導的模斑尺寸要比光纖的模斑尺寸小很多，兩者匹配度較差。為了提高光子芯片上的波導與外部光學元件之間的光耦合效率，可使用邊緣耦合器(edgecoupler，或稱端面耦合器)來增加波導的模斑尺寸從而提高兩者模斑尺寸的匹配度。、為了避免在增加波導的模斑尺寸時光損失到襯底，有人提出懸臂梁型邊緣耦合器(cantilever?c...
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