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      一種無(wú)線鍵合壓電TOF傳感器制作方法與流程技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):40390758

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      本發(fā)明屬于傳感器領(lǐng)域,具體涉及一種無(wú)線鍵合壓電tof傳感器制作方法。背景技術(shù)、傳統(tǒng)的壓電tof傳感器如倒車?yán)走_(dá),采用壓電塊材超聲換能器,體積大,功耗大。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,市面上出現(xiàn)了采用壓電式微機(jī)械超聲換能器(pmut)制作的tof傳感器,其中的pmut采用mems工藝制備,體積小、功耗小、一致性好、成本低。近幾年,還出現(xiàn)了將pmut和asic芯片封裝在一起的tof傳感器芯片,進(jìn)一步降低了傳感器的體積和成本。、但是,現(xiàn)在的即使是最先進(jìn)的壓電tof傳感器,也是采用錫封、wire?bondi...
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