技術(shù)編號(hào):40390758
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于傳感器領(lǐng)域,具體涉及一種無(wú)線鍵合壓電tof傳感器制作方法。背景技術(shù)、傳統(tǒng)的壓電tof傳感器如倒車?yán)走_(dá),采用壓電塊材超聲換能器,體積大,功耗大。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,市面上出現(xiàn)了采用壓電式微機(jī)械超聲換能器(pmut)制作的tof傳感器,其中的pmut采用mems工藝制備,體積小、功耗小、一致性好、成本低。近幾年,還出現(xiàn)了將pmut和asic芯片封裝在一起的tof傳感器芯片,進(jìn)一步降低了傳感器的體積和成本。、但是,現(xiàn)在的即使是最先進(jìn)的壓電tof傳感器,也是采用錫封、wire?bondi...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。