技術(shù)編號:40394534
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及半導體產(chǎn)品的自動生產(chǎn),尤其是涉及一種半導體產(chǎn)品的緩存設(shè)備。背景技術(shù)、隨著技術(shù)的發(fā)展,自動化生產(chǎn)系統(tǒng)逐步應(yīng)用于半導體產(chǎn)品的生產(chǎn),在將待加工的物料從上一加工工序轉(zhuǎn)移至下一加工工序的過程中,物料需要先被轉(zhuǎn)移至緩存設(shè)備內(nèi)進行緩存,自動化生產(chǎn)系統(tǒng)根據(jù)待加工設(shè)備的生產(chǎn)節(jié)拍將緩存設(shè)備內(nèi)的物料持續(xù)地轉(zhuǎn)移至加工設(shè)備,從而實現(xiàn)加工設(shè)備的連續(xù)加工。相關(guān)技術(shù)中,當緩存設(shè)備內(nèi)存儲物料的存儲位與第二開口位于相對側(cè)時,通常通過緩存設(shè)備的驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動物料繞水平軸線旋轉(zhuǎn),以使得存儲位內(nèi)的物料從一側(cè)轉(zhuǎn)動至另一側(cè),然而這...
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