技術(shù)編號：40396275
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及單晶爐拆爐清理，具體而言，涉及一種用于單晶爐拆爐清理的除塵裝置及單晶生產(chǎn)車間。背景技術(shù)、單晶爐熱場在運(yùn)行一爐完成后，需要對其進(jìn)行拆爐清理，主室的高純衛(wèi)生尤為重要，拆解的石墨件附著的碳化硅、硅蒸汽等雜質(zhì)，主要還是操作人員采用常規(guī)的工具清理真空管道，石墨件等容易造成揚(yáng)塵，粉塵較多。、現(xiàn)有技術(shù)存在的缺點：、人工清潔，在拆裝熱場石墨件會產(chǎn)生大量的硅化物粉塵，沒有合理的措施進(jìn)行粉塵的隔離或收集，這些硅化物粉塵會從其頂部爐口進(jìn)入到車間，硅化物粉塵掉落還會積累在單晶爐上，車間的各個角落，造成車...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。