技術(shù)編號：40396929
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)屬于超精密加工，具體涉及一種方形石英基板的雙面加工用游星輪組件。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體工業(yè)飛速發(fā)展，電子器件的尺寸越來越小，對晶片表面的粗糙度、ttv(總厚度偏差)、平整度等表面精度指標的要求越來越高。、在晶圓拋光時，需要用到雙面拋光機，游星輪作為雙面研磨拋光設(shè)備工作過程中的加工載具，廣泛應(yīng)用于壓電晶體，光學(xué)玻璃加工、藍寶石加工、陶瓷加工等行業(yè)，是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)活動中不可或缺的生產(chǎn)耗材。、現(xiàn)有技術(shù)的雙面拋光機在使用過程中，如圖所示，游星輪放置在研磨拋光盤上并與外齒圈和中軸太陽輪嚙...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。