技術(shù)編號(hào)：40407308
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種固定裝置，具體為一種清洗劑投料管的固定裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體制造的過程中，需要通過指定的化學(xué)溶劑對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行清洗操作，從而將半導(dǎo)體上的雜質(zhì)進(jìn)行清洗去除，提高半導(dǎo)體制造的質(zhì)量。、目前，在對(duì)半導(dǎo)體清洗用化學(xué)溶劑進(jìn)行投料時(shí)，化學(xué)溶劑會(huì)通過清洗劑投料管加注到清洗設(shè)備內(nèi)部。傳統(tǒng)的對(duì)于清洗劑投料管的固定采用的多為單點(diǎn)固定實(shí)現(xiàn)的，一旦清洗劑的加注流量波動(dòng)時(shí)，投料管會(huì)隨之不斷的運(yùn)動(dòng)，從而會(huì)對(duì)清洗劑投料造成影響，不利于使用；并且各種清洗設(shè)備所使用的投料管管徑各不相同，傳統(tǒng)的固定裝置無法實(shí)現(xiàn)很好...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。