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      物品收納設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:4336078

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      本發(fā)明涉及一種物品收納設(shè)備,該物品收納設(shè)備設(shè)有在上下方向以及左右方向上 具備多個收納部的物品收納架,和將物品自由輸送到該物品收納架上的各收納部中的物品輸送裝置。背景技術(shù)上述物品收納設(shè)備例如在設(shè)有沿著經(jīng)由多個站點的天花板一側(cè)的一動路徑移動 自如的天花板輸送裝置的物品輸送設(shè)備中,用于暫時保管由天花板輸送裝置向站點輸送的 物品。在此,物品例如是收納了多個半導(dǎo)體基板的容器,站點與相對于半導(dǎo)體基板進行規(guī)定 的處理的物品處理部的每一個相對應(yīng)地裝配在地面部一側(cè),天花板輸...
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