技術(shù)編號：4399493
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種用于存儲和分配高純度工藝化學制劑的容器和 閥-十字吹掃組件。 背景技術(shù)半導體制造工業(yè)中在標準溫度和壓力，例如環(huán)境條件下的 存儲和分配中使用一系列在固相、液相和氣相中的化學制劑?；谒鼈?的化學結(jié)構(gòu)，以及它們是否為其純凈的形式或者被包含在溶劑中，這些 化學制劑可以具有在很大程度上變化的蒸氣壓和粘度。無論所述化學制劑容器的尺寸，在一些時間點所述半導體 制造者會替換化學制劑耗盡的化學制劑容器，或者移除化學制劑容器用 于其它的操作要求。在半導體制造中...
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