技術(shù)編號：4415396
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種片狀儀器的制造裝置及片狀儀器的制造方法，該片狀儀器用于將形成于鑄型(模具)的圖案轉(zhuǎn)印到基材上的樹脂處。背景技術(shù)作為用于形成具有微細的凹凸形狀(從微米級到納米級的凹凸形狀)圖案的片狀儀器的微細加工技術(shù)，存在一種壓印(日文4 7 U >卜)技術(shù)。壓印技術(shù)具有熱方式和光方式這兩種方式。光方式的壓印能廉價地制作出微細結(jié)構(gòu)。因此，光方式的壓印在多方面投入了實際使用。在壓印中，使用加工有微細圖案的鑄型(模具)。熱方式的壓印是以下技術(shù)在將形成于鑄型的...
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