技術(shù)編號：4482761
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。但是，上述的專利文獻(xiàn)l、 2的轉(zhuǎn)印方法是用保持壓模端部的夾 具使其機(jī)械地彎曲，所以被保持時在壓模端部上施加的負(fù)荷較大、有 時候在反復(fù)進(jìn)行轉(zhuǎn)印之中壓模就會發(fā)生破損。進(jìn)而作為具體的基體102的材料，可列舉石英、Si、包含氟化物的多成分玻璃，但并不限定于此。另外，作為薄膜103的材料可列舉例如用化學(xué)式SiOx(其中，x為大于0小于等于2的值)所示的硅氧化物，但并不限定于此。而且，在薄膜103的材料是用化學(xué)式SiOx所示的材料或者Si的情況下，它們還可以進(jìn)一步包含...
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