技術(shù)編號(hào):4542910
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及降低或消除有害氣體排放的方法和設(shè)備。污染的氣體被分解、清潔和中和。本發(fā)明特別涉及適用于全球變暖氣體和其它難于分解的其他。這些氣體包括全氟化碳(PFC)、四氟甲烷(CF4)、六氟乙烷(C2F6)和許多其它消耗臭氧層的全球變暖和溫室氣體。 本發(fā)明也可以通過(guò)除去三氫化砷(AsH3)或三氫化磷(PH3)等氣體,從而用于分解半導(dǎo)體工藝中排放氣流的分解。清潔、中和和分解這些類型的氣體需要高溫。背景技術(shù)現(xiàn)有系統(tǒng)不能提供足夠的熱有效清除排出氣流中的全球變暖氣體。...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。