技術(shù)編號:4883007
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是一種廢水處理系統(tǒng),具體地說是一種揮發(fā)性有機廢水濃縮處理系統(tǒng)。背景技術(shù) 含有揮發(fā)性有機物(volatile organic compounds)工業(yè)廢水為近來許多先進工業(yè)所遭過的環(huán)保問題,例如電子業(yè)、半導(dǎo)體業(yè)、液晶顯示制造業(yè)等。舉例而言,電子業(yè)為臺灣經(jīng)濟發(fā)展的重點工業(yè),先進的電子工業(yè),如半導(dǎo)體工業(yè)使用紫外光,深紫外光步進曝光技術(shù),做為制程重要步驟需要用到上光阻、顯影、蝕刻、去光阻等化學(xué)藥劑,附帶的工業(yè)廢水主要成分也含有此類光阻劑及去光組劑、顯影劑、蝕...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。