技術編號：4989948
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明實施例大致關于處理系統(tǒng)的減廢設備。 背景技術減廢設備(諸如，水洗滌器及相似的設備)可用于移除排放流(effluent stream) 中的粒子，其最主要的目的是為符合環(huán)境微粒管制排放條例。不幸地，發(fā)明者發(fā)現(xiàn)傳統(tǒng)的洗滌器經(jīng)常無法適當?shù)貜呐欧诺呐欧帕髦幸瞥挝⒚琢Ｗ?。因此，發(fā)明者提供改善的次微米粒子減廢的減廢設備。發(fā)明內(nèi)容本文揭露具有洗滌導管的減廢設備的實施例。某些實施例中，減廢設備包括洗滌器，其配置以從處理腔室接收排放流，并進一步配置以從排放流移除第一...
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