技術(shù)編號(hào)：5035867
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，詳細(xì)來(lái)說(shuō)，涉及通過(guò)干法對(duì)在半導(dǎo)體制造工藝中利用鹵化物氣體將基板上的固形物、附著在制造裝置上的固形物進(jìn)行干蝕刻或者干洗后的氣體進(jìn)行除害的方法。背景技術(shù)通過(guò)干法對(duì)各種有害氣體成分進(jìn)行除害的除害劑根據(jù)作為除害對(duì)象的氣體成分、處理?xiàng)l件，使用多種多樣的物質(zhì)。例如，在對(duì)鹵化物氣體進(jìn)行除害處理時(shí)，有在空氣中等的有氧存在下使其與活性炭接觸而反應(yīng)的方法；在氮?dú)獾确腔钚詺夥障率蛊渑c堿金屬的氫氧化物、堿土金屬的氫氧化物接觸而反應(yīng)的方法等。另一方面，近年來(lái)的半導(dǎo)體的制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。