技術(shù)編號(hào)：5267916
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及MEMS器件制造，尤其涉及一種防止MEMS器件結(jié)構(gòu)層材料被 電化學(xué)腐蝕的方法，即防止帶貴金屬的MEMS器件的結(jié)構(gòu)層材料在SiO2濕法腐蝕過程中被 電化學(xué)腐蝕的方法。背景技術(shù)自上世紀(jì) 80 年代微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electromechanical System, MEMS)技術(shù)蓬 勃發(fā)展以來，各種MEMS器件的市場價(jià)值迅速上升。從汽車安全氣囊中的微加速度計(jì)，輪胎 中的微壓力傳感器，到導(dǎo)航儀中的微陀螺儀，再到無線通訊系統(tǒng)中的微諧振器，濾波器、以...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。