技術編號：5268384
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及被激光照射的微結(jié)構(gòu)、其制造方法、以及微電子機械系統(tǒng)。背景技術 近年來，使用微電子機械系統(tǒng)的裝置在各種領域中被應用，所述微電子機械系統(tǒng)被稱作所謂的微機電系統(tǒng)(Micro Electro MechanicalSystemMEMS)如微開關、致動器(actuator)、壓力傳感器、加速度傳感器等。MEMS是通過在犧牲層上形成結(jié)構(gòu)層之后，在由蝕刻除去犧牲層而成的空間中立體地形成結(jié)構(gòu)層來驅(qū)動的。作為用于這種MEMS的工作部分的結(jié)構(gòu)層，使用金屬如鎢(W)、鉬...
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