技術(shù)編號：5271634
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。背景技術(shù) 近年，使用MEMS(Micro Electro Mechanical System)技術(shù)，制造超小型、超高性能的電子零件(MEMS元件)的研究和開發(fā)盛行。使用MEMS技術(shù)的電子零件跨多個(gè)領(lǐng)域，但是作為其中一種，知道構(gòu)成噴墨打印機(jī)的噴墨頭等?？墒?，在由MEMS技術(shù)制造的電子零件(電子裝置)、以及由MEMS以外的技術(shù)制造的電子零件中，由于構(gòu)成電子零件的基板的面積上的限制和其他理由，有時(shí)無法將形成在基板上的基板配線、基板上安裝的半導(dǎo)體芯片等...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。