技術(shù)編號：5272165
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)微型執(zhí)行器，尤其涉及一 種基于架空金屬線橋的MEMS磁執(zhí)行器的制作方法。背景技術(shù)國內(nèi)外利用微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)制作而成的微型執(zhí)行器，由于原理的不同 而種類繁多，包括熱執(zhí)行器、靜電執(zhí)行器、電磁執(zhí)行器、透磁合金執(zhí)行器、 人工合成射流執(zhí)行器、硅橡膠氣球執(zhí)行器等。要制作出對流體干擾能力強(qiáng)的微執(zhí)行器，關(guān)鍵要增加對執(zhí)行器的驅(qū)動 力。各種微執(zhí)行器中，利用熱、靜電原理的執(zhí)行器驅(qū)動力小，使執(zhí)行器產(chǎn) 生的偏移不能對流體造成顯著影響，并且有些靜電磁執(zhí)行...
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