技術(shù)編號(hào)：5424067
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。微型泵背景技術(shù)廣泛流行在許多應(yīng)用中制造和使用微型泵。微型泵或者也稱為MEMS泵(“微型電子機(jī)械系統(tǒng)”)相對(duì)于常規(guī)的巨型泵尤其具有在其于便攜式設(shè)備中的可使用性方面或者通常在有限的結(jié)構(gòu)空間中可集成性方面的優(yōu)點(diǎn)。在此，尤其將結(jié)構(gòu)在至少一個(gè)維度上處于亞毫米區(qū)域內(nèi)的并且/或者用微系統(tǒng)技術(shù)的機(jī)構(gòu)制造的泵稱作微型泵。作為微型泵，例如公開了微型隔膜泵。其中重要的元件是泵腔，該泵腔在一側(cè)上由泵隔膜進(jìn)行限界。在泵工作時(shí)，所述泵隔膜振蕩并且引起腔容積的周期性的變化。此外，所述泵...
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