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      一種消除雙作用氣缸換向抖動(dòng)的控制裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):5507682

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      本發(fā)明涉及機(jī)械設(shè)計(jì)領(lǐng)域的氣動(dòng)控制,特別是一種消除雙作用氣缸換向抖動(dòng) 的控制裝置。背景技術(shù)在機(jī)械設(shè)計(jì)中經(jīng)常會(huì)用到氣動(dòng)控制,氣動(dòng)控制因其設(shè)計(jì)靈活,控制方便而被廣泛應(yīng)用 于自動(dòng)機(jī)械中。但是,氣動(dòng)控制中驅(qū)動(dòng)裝置尤其是雙作用氣缸的換向時(shí)的"抖動(dòng)"現(xiàn)象對(duì) 氣動(dòng)控制的準(zhǔn)確性與可靠性都有很大的影響。下面以氣動(dòng)控制在半導(dǎo)體加工設(shè)備中的應(yīng)用 進(jìn)行具體說(shuō)明。在半導(dǎo)體加工過(guò)程中,對(duì)刻蝕環(huán)境的潔凈程度要求非常高,機(jī)械結(jié)構(gòu)會(huì)由于磨損等原 因產(chǎn)生對(duì)環(huán)境污染的雜質(zhì)顆粒,而液壓機(jī)構(gòu)難免有油...
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