技術(shù)編號：5531244
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及利用了磁性流體的密封裝置，其用于釣具、半導(dǎo)體制造裝置、工業(yè)設(shè)備等各種裝置的軸密封部。背景技術(shù)作為壽命長且潔凈的高性能密封裝置，已知有磁性流體密封裝置。該磁性流體密封裝置廣泛地使用于在需要節(jié)約維護(hù)且能夠得到潔凈氛圍的軸封機構(gòu)的半導(dǎo)體或液晶等的制造工序、各種涂布和蝕刻工序中用于向真空中導(dǎo)入旋轉(zhuǎn)驅(qū)動力的真空密封、用于防止來自軸承的油霧等侵入到潔凈的區(qū)域中的防塵密封、或者氣體密封等。圖5是說明作為利用了這種磁性流體的一個現(xiàn)有例的密封裝置的截面結(jié)構(gòu)的圖(下...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。