技術(shù)編號(hào)：5836102
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微粒高度測(cè)量方法，特別是一種固體基片表面的微粒高度的測(cè)量方 法，屬光學(xué)檢測(cè)。背景技術(shù)固體及液體粒子，特別是微小粒子的大小或是尺寸信息對(duì)與許多領(lǐng)域都是十分重要的。 例如，在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中很多材料是以粉體的形式存在和使用的，粉體顆粒盼形狀及尺寸 大小對(duì)于產(chǎn)品質(zhì)量、生產(chǎn)效率以及生產(chǎn)過(guò)程控制都會(huì)產(chǎn)生非常重要的影響。又如，液體霧 化產(chǎn)生的液滴的大小對(duì)于包括燃燒過(guò)程、環(huán)境濕度控制在內(nèi)的各種應(yīng)用都是至關(guān)重要的。 對(duì)于微粒直徑的測(cè)量，已有多種不同的方法，應(yīng)用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。