技術(shù)編號:5894803
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及氣體的檢測裝置,具體為用于分析檢測高純度非腐蝕性氣體中雜 質(zhì)的通用裝置。背景技術(shù)在分析高純度非腐蝕性氣體時,不僅要檢測氣體本身(底氣)的含量,也需要分析 其中所包含的雜質(zhì)氣體組分。上述雜質(zhì)組分包括各種大分子和小分子氣體,種類多,含量不同,分子量差異大, 因此分析檢測時,需將組分逐一分離后再進(jìn)行分析。而且由于高純度非腐蝕性氣體中底氣的含量極高,雜質(zhì)氣體組分種類多,因此對 其中痕量的雜質(zhì)組分檢測有困難。這些雜質(zhì)組分很容易被高濃度的底氣所掩蓋,而難...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。