技術編號：5943561
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，特別是一種利用掩膜-無掩膜腐蝕技術制作的諧振梁和蟹腿型支撐梁組成的雙軸體微機械諧振式加速度計結構及制作方法，屬于微電子機械系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)領域。背景技術微型加速度計是一類重要的力學量傳感器。早在上世紀60年代末人們就開始研究一維微型硅加速度計。80年代末開始一維微型加速度計的規(guī)?；a。進入到90年代， 隨著科學技術的發(fā)展和軍事、商業(yè)市場的需求，開始研究三維微型加速度計，應用于...
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