技術(shù)編號：5967841
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光學(xué)顯微成像及微觀測量，涉及一種具有高性噪比和三維超分辨成像能力的，其可用于測量樣品的三維表面形貌、三維微細(xì)結(jié)構(gòu)、微臺階、微溝槽、集成電路線寬等。背景技術(shù) 共焦顯微鏡的思想最早由美國學(xué)者M(jìn).Minsky于1957年首次提出，并于1961年得到美國專利授權(quán)，專利號為US3013467。共焦顯微鏡將點光源、點物和點探測器三者置于彼此對應(yīng)的共軛位置，構(gòu)成光學(xué)顯微成像中獨具層析能力的點照明和點探測顯微成像系統(tǒng)。一般共焦顯微鏡的基本原理如圖1所示，光源32...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。