技術(shù)編號(hào):6003984
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于光干涉計(jì)量測試領(lǐng)域,特別是。背景技術(shù)移相干涉術(shù)是現(xiàn)今廣泛使用的光學(xué)面形測試技術(shù),該技術(shù)使用干涉儀采集一組移相干涉圖,每幅圖之間具有特定的相位差,根據(jù)干涉圖可以恢復(fù)被測相位。這些相位差稱為移相量或移相步長,通過干涉儀的移相器產(chǎn)生,如果移相量不準(zhǔn)確,就會(huì)給恢復(fù)的相位帶來誤差。而在實(shí)際應(yīng)用中,干涉儀的移相器非線性等硬件因素,或振動(dòng)等環(huán)境因素,均會(huì)產(chǎn)生移相量誤差,這成為制約移相干涉術(shù)測試精度的重要原因。為了從含有移相誤差的干涉圖中恢復(fù)準(zhǔn)確的相位,發(fā)展了很...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。