技術(shù)編號(hào):6004563
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微分型電遷移率分級(jí)裝置、具備此裝置的粒子測(cè)量系統(tǒng)以及具備此裝置的粒子篩選系統(tǒng)。背景技術(shù)近年來(lái),與抑制半導(dǎo)體制造過(guò)程中的粒子污染、開發(fā)量子納米材料或闡明大氣中的酸雨和煙霧的產(chǎn)生機(jī)制等相關(guān)聯(lián),懸浮在氣體環(huán)境中的粉塵和霧狀物等微粒子受到關(guān)注。作為將具有納米級(jí)至微米級(jí)的粒徑的氣溶膠粒子進(jìn)行分級(jí)的方法,利用氣流中的帶電粒子的電遷移率依賴于粒徑的現(xiàn)象的微分型電遷移率分級(jí)裝置(DMA,Differential Mobility Analyzer)得以應(yīng)用,其中...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。