技術(shù)編號:6005709
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于測試半導體裝置上的電結(jié)合部的強度的裝置。特別地,本發(fā)明涉及能夠?qū)﹄娊Y(jié)合部進行不同類型的測試如剪切測試、牽拉測試和推壓測試的裝置。背景技術(shù)半導體裝置非常小,通常從5mmX5mm的方形至50mmX50mm的方形,且一般包括用于將導電體結(jié)合到半導體基片的多個位置。每個結(jié)合部由附著到基片的焊料或金球沉積物組成。能在球沉積物中嵌入非常細的線,直徑通常約為0. 025mm。測試結(jié)合部的結(jié)合強度是有必要的,以便確信具體的結(jié)合方法是適當?shù)摹R驗榻Y(jié)合部尺寸非常...
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