技術編號：6017950
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種力傳感器，更特別地說，是指一種基于柔性平行四邊形機構(gòu)的兩級力分辨率傳感器。背景技術在納米壓印的熱壓印工藝過程中，需要對壓印力進行實施監(jiān)測。當壓印頭接近基板時，可以通過力傳感器的監(jiān)測，判斷壓印頭是否已經(jīng)對準，并進行相應的校準工作，此時的壓印力只有幾牛頓；當開始壓印的時候，壓印頭完全壓住基板，此時的壓印力可以達到幾百甚至上千牛頓。如果采用傳統(tǒng)單軸力傳感器，在上述兩個過程中就需要更換不同的傳感器，這樣就會帶來重新標定等問題，這將極大地影響納米壓印的...
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